OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款雙溫區(qū)帶有升降雙通道進料系統(tǒng)的共蒸發(fā)多層沉積管式爐，通過升降雙通道進料系統(tǒng)可裝載4個不同材料的蒸發(fā)坩堝舟，并且可一次同時送入兩個蒸發(fā)坩堝源進入管式爐中進行共蒸發(fā)或反應(yīng)蒸發(fā)。雙溫區(qū)管式爐可以實現(xiàn)快速加熱，并且通過對各個溫區(qū)設(shè)置不同的加熱溫度可以創(chuàng)建不同的溫度梯度從而實現(xiàn)蒸發(fā)沉積。
OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩堝同時移動型管式爐

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-Ⅱ-S2

更新時間：2025-02-17

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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管式爐

單溫區(qū)管式爐多溫區(qū)管式爐旋轉(zhuǎn)管式爐立式（垂直）管式爐

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OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩堝同時移動型管式爐是一款雙溫區(qū)帶有升降雙通道進料系統(tǒng)的共蒸發(fā)多層沉積管式爐，通過升降雙通道進料系統(tǒng)可裝載4個不同材料的蒸發(fā)坩堝舟，并且可一次同時送入兩個蒸發(fā)坩堝源進入管式爐中進行共蒸發(fā)或反應(yīng)蒸發(fā)。雙溫區(qū)管式爐可以實現(xiàn)快速加熱，并且通過對各個溫區(qū)設(shè)置不同的加熱溫度可以創(chuàng)建不同的溫度梯度從而實現(xiàn)蒸發(fā)沉積。雙通道進料系統(tǒng)可以在程序控制下將2個裝載不同蒸發(fā)料的坩堝一同推進拉出，實現(xiàn)共蒸發(fā)或者反應(yīng)蒸發(fā)，特別適用于多層二維晶體材料的制備。

性能指標(biāo)和基本配置
管式爐	● 雙溫區(qū)管式爐：兩個獨立的溫控系統(tǒng)對每個溫區(qū)進行獨立控溫 ● 電壓：220V AC 50/60Hz ● 功率：3KW ● 加熱區(qū)長度：440mm ● 恒溫區(qū)長度：300mm ● 溫度曲線圖(兩個溫區(qū)設(shè)置在800℃時所測，僅供參考）（可點擊圖片查看詳細(xì)資料） ● 爐管材料：高純石英管 ● 標(biāo)配爐管尺寸：Φ100（外）×Φ94（內(nèi)）×640（長） ● 最高工作溫度：1200℃（＜1h） ● 連續(xù)工作溫度：1100℃ ● 控溫精度：±1℃ ● 推薦升溫速率：10℃/min
坩堝推送機構(gòu)（升降雙通道進料系統(tǒng)）	● 一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入爐管內(nèi)部，并與坩堝相連接，實現(xiàn)溫度的實時監(jiān)測（如圖1） ● 升降雙通道進料系統(tǒng)放置在一中空的真空腔體中，上方采用不銹鋼真空法蘭進行密封，兩端同樣采用不銹鋼真空法蘭與坩堝推進裝置及管式爐進行連接，保證進料在真空狀態(tài)或者氣氛保護狀態(tài)下進行運作（圖2） ● 進料系統(tǒng)真空腔體右端與管式爐連接法蘭處安裝有2個獨立小石英管（圖3） ● 在升降雙通道進料系統(tǒng)中最多可放入4個坩堝（圖4），利用推送系統(tǒng)可交替將4個不同蒸發(fā)源單個依次送入石英管中，也可將放入不同材料的2個坩堝蒸發(fā)源一同送入，分別精確的推入兩個獨立的小石英管中（圖5），找到所需的蒸發(fā)溫度處進行共蒸發(fā)或者反應(yīng)蒸發(fā)，保證實驗的重復(fù)性以及穩(wěn)定性（圖6）
坩堝推送控制系統(tǒng)	● 采用PLC觸摸屏控制 ● 通過一步進電機控制坩堝的移動速度和位置，進樣位置和速度可調(diào) ● 可控制坩堝最小移動位移為1mm ● 坩堝最大移動距離為200mm
真空表	機械壓力表+數(shù)顯壓力表
真空泵	真空度：10E-2 torr（采用機械泵），10-E5 torr(采用分子泵)
混氣系統(tǒng)	● 此套設(shè)備中配有一2路混氣系統(tǒng) ● 最大輸出功率：18W ● 工作溫度：5-45℃ ● 精度：±1%FS ● 質(zhì)量流量計量程：1:0-100sccm 2:1-199sccm ● 可根據(jù)客戶要求選購1-5路供氣系統(tǒng)
水冷系統(tǒng)	標(biāo)配一16L循環(huán)水冷系統(tǒng)
尺寸	2600mm(L) x 600mm(W) x 900mm(H)
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終生維護
質(zhì)量認(rèn)證	● CE認(rèn)證 ● 所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證 ● 若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
使用注意事項	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
應(yīng)用舉例	● 此款管式爐具有多種用途： ● 熱蒸發(fā)：將蒸發(fā)料放入坩堝中，通過移動坩堝來精確找到所需蒸發(fā)溫度 ● HPCVD：通入反應(yīng)氣體實現(xiàn)反應(yīng)蒸發(fā)沉積 ● 共蒸發(fā)沉積或反應(yīng)蒸發(fā)沉積：利用*的雙通道進料裝置可以實現(xiàn)兩蒸發(fā)源的同時送入，實現(xiàn)共蒸發(fā)沉積或反應(yīng)蒸發(fā)沉積 ● 多層二維晶體：此套設(shè)備可以實現(xiàn)多層二維晶體的制備（硒化物硫化物等），操作方便簡單，實驗更具精確性、重復(fù)性。

OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩堝同時移動型管式爐

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